Überwachung von
Klimaparametern in Reinräumen
Räume für kritische Prozesse, d.h. Reinräume, sowie Mini-Umgebungen erfordern präzise Umweltüberwachungstechnologie und -methoden, um konsistent innerhalb der Spezifikationen zu arbeiten.
Hierbei geht es nicht nur um Spezifikationen oder Normen, sondern vielmehr um die Qualität Ihrer Produkte, z.B. pharmazeutische Medikamente oder Halbleiterchips, sowie um Prozesse.
Geringfügige Abweichungen bei den Messwerten können enorme Auswirkungen haben. Nicht nur die Norm ist entscheidend, sondern vielmehr der Produktbedarf, der über die Genauigkeit einer Messung entscheidet. Stellen Sie sich den Produktverlust vor, weil Sie nicht wussten, ob noch ein Überdruck vorhanden war und somit garantiert war, dass keine Kontamination auf oder in das Produkt gelangen konnte. Es könnten nur 1 Pa oder die Ungenauigkeit des Instruments entscheidend sein. Stellen Sie sich Produktimplikationen aufgrund falscher Feuchtigkeit oder einfach den Zweifel vor, ob produktbezogene Anforderungen erfüllt wurden. Daher ist es wichtig, alle Reinraumanforderungen zu überwachen.
Anforderungen sind unter anderem saubere Luft mit hoher Austauschrate, ausreichender Druck, exakte Temperatur- und Feuchtigkeitsregulierung bei konstanter Luftqualität. Feuchtigkeit, Temperatur und Differenzdruck können besonders anspruchsvolle Parameter für die Messung in einer Reinraumumgebung sein. Diese Umweltmessungen müssen präzise, zuverlässig und mit kalibrierten Instrumenten durchgeführt werden, um die Qualität Ihrer Produkte und Prozesse zu gewährleisten. Robuste und hochpräzise Instrumente von Novasina begegnen Messherausforderungen und tragen zum reibungslosen Betrieb Ihrer Reinraumanlagen bei.
Überwachung von Temperatur, Feuchtigkeit und Druck
Um Spezifikationen zu erfüllen, erfordern Reinräume präzise Messungen. Die Aufrechterhaltung konstanter Reinraumbedingungen erfordert eine genaue und langzeitstabile Instrumentierung für die kontinuierliche Messung und Überwachung von Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Differenzdruck.
Die zur Überprüfung der Reinraumleistung erforderlichen messtechnischen Parameter sind in DIN EN ISO 14644 dargelegt. Die kontinuierliche Überwachung von Temperatur, relativer Feuchtigkeit und Differenzdruck trägt dazu bei, die Produktqualität zu gewährleisten und die Umgebungsbedingungen gemäß den Spezifikationen zu dokumentieren. Je nach Reinraumnutzung können zusätzliche oder andere relevante Spezifikationen gelten.
Prüfung von Temperatur und relativer Feuchtigkeit
Lüftungssysteme versorgen einen Reinraum mit den Temperatur- und Feuchtigkeitsniveaus, die den Anforderungen der jeweiligen Anwendung entsprechen. Gemäß DIN EN ISO 14644 -3 muss die Fähigkeit zur Einhaltung der Spezifikationen geprüft werden. Anforderungen an die hierfür verwendeten Prüfgeräte finden sich in DIN EN ISO 7726 Ergonomie der thermischen Umgebung, Instrumente zur Messung physikalischer Größen. Diese Norm besagt, dass für die relative Feuchtigkeit die zulässige Messunsicherheit +- 2 % RH beträgt.
Die gebräuchlichste Messmethode für relative Feuchtigkeit ist die kapazitive Methode, die die Unsicherheitsanforderungen erfüllen kann, wenn sie von spezialisierten Anbietern bezogen wird. Der elektrolytisch-resistive Sensor bietet jedoch eine genauere Messung mit weniger Störungen durch chemische Komponenten wie H2O2. Der elektrolytisch-resistive Sensor von Novasina erreicht mit dem nSens-HT-ENS Sensor eine Unsicherheit von +/- 0,5 %RH, was sehr präzise Prüfungen ermöglicht. Mit besserer Langzeitstabilität aufgrund fehlender Hysterese und einer schnelleren Reaktion im Vergleich zu kapazitiven Sensoren.
Die relative Feuchtigkeit ist ein Parameter, der stark von der Lufttemperatur beeinflusst wird. Normalerweise werden relative Feuchtigkeit und Lufttemperatur zusammen gemessen, was ein genaues und spezifisches Temperaturelement erfordert. Die meisten kapazitiven Feuchtesysteme messen die Lufttemperatur mit einem integrierten, kostengünstigen Bandgap-Temperatursensor, der nicht so genau ist wie ein separates PT- oder NTC-Element, das im elektrolytischen Feuchtemesssystem von Novasina verwendet wird. Erfahren Sie hier mehr über die nSens-Sensoren von Novasina.
